Focus Point File 電子線が焦点を結ぶ位置(高さ)は限られている (数 μm) その高さに合せるため アジャスタ + 基板 の高さを同じにする (3.205 m/m) 僅かのずれはステージを上下して合せる 予め、描画範囲のいくつかの点の高さを測って近似式を用意 描画時に、その近似式を用いてその位置の高さを求めて ピエゾ(圧電素子)を使ってステージを上下する ステージを上下に動かす範囲は +/- 50μm