高速電子線描画装置
を利用した
大面積微細描画支援

大規模集積システム設計教育研究センター
(VDEC)
ナノテクノロジー・プラットフォーム
微細加工 PF 東大拠点
特任研究員

藤原   誠
makoto@if.t.u-tokyo.ac.jp