直接描画

原版 (マスク) を使わないで直接描画)

2. 基板にポジレジストを塗ります
3. 用意した図形に合せて電子線を照射
4. 電子線が当ったところは溶けます
 「露光したところが溶ける」が
 「ポジ」の意味
5. 出来た図は、「用意した図形」からは反転してしまいます