高速大面積電子線描画向け
データ変換方法


大規模集積システム設計教育研究センター
(VDEC)
ナノテクノロジー・プラットフォーム
微細加工 PF 東大拠点
特任研究員

藤原   誠
makoto@if.t.u-tokyo.ac.jp
http://www.if.t.u-tokyo.ac.jp/~makoto/mgp/kunifes2018/