01/16 01/18 02/09pm 02/14 02/14p 02/22 02/26 03/26 03/26p 03/28 03/29 03/29s 05/02 05/04 05/05 05/06 05/24 09/01 09/21 10/12 11/16 11/26 11/30 11/30a 11/30v 12/06 12/11 12/12 12/18
32 photos
1
LLCH に 01 が入っている
のが確かに表示され、
EFEM の方は無い
640x480 | original size		 2
AlignmentTool で
Focus Mapping 中

640x480 | original size		 3
Fail しました
(配置 横)
640x480 | original size		 4
Fail した点を表示

640x480 | original size
5
FocusPoint
Editor で確認
+-------------+
| Show Latest |
| Results     |
+-------------+

640x480 | original size		 6
例えば 12 番はどこかな
と選ぶと、左側の該当の点が
大きくなって表示される

640x480 | original size		 7
640x480 | original size		 8
貼る向きを「縦」に
変更したいので
unload 中
640x480 | original size
9
load 中に内をのぞいて見る
640x480 | original size		 10
どこにも 1 の表示がない
640x480 | original size		 11
AlignmentToolは
エラーにはなるものの
見かけ上正常終了
640x480 | original size		 12
FocusPoint
Editor を起動

640x480 | original size
13
こんどはうまく行かない
配置「縦」
640x480 | original size		 14
exposure も試して見る

640x480 | original size		 15
NG FOCUS SYSTEM ERR
640x480 | original size		 16
Show Latest Result

640x480 | original size
17
Show job Results
640x480 | original size		 18
Check Layout

640x480 | original size		 19
Auto Place を試して見る
640x480 | original size		 20
Rectange Selection
の方で
640x480 | original size
21
-35000 x -45000
-30000 x -40000
の 5 m/m 角の設定にする
640x480 | original size		 22
Auto Place の結果を
別名保存
640x480 | original size		 23
WEC Editor から
Focus Point File を変更
しておいて、もう一度 exposure

640x480 | original size		 24
NG FOCUS OHD Failed
640x480 | original size
25
Focus Point Editor
を起動したままだったので
Load WEC したら
何か聞かれている
ここは OK を押した(と思う)
640x480 | original size		 26
結果を表示
何故か左側 3 m/m くらいが
Size error になっている
640x480 | original size		 27
例えば 右側で 16 を選ぶと、
左側でその点が大きくなる
640x480 | original size		 28
Auto Place を使って
10 x 10 m/m で作り直して
もう一度 exposure
640x480 | original size
29
やはり左側 3 m/m で
問題が起きる
640x480 | original size		 30
Auto Place で作った
25mm 角を使ったら、
やはり同じになる
640x480 | original size		 31
640x480 | original size		 32
640x480 | original size