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32 photos
1
LLCH に 01 が入っている
のが確かに表示され、
EFEM の方は無い
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AlignmentTool で
Focus Mapping 中

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Fail しました
(配置 横)
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Fail した点を表示

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5
FocusPoint
Editor で確認
+-------------+
| Show Latest |
| Results     |
+-------------+

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例えば 12 番はどこかな
と選ぶと、左側の該当の点が
大きくなって表示される

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貼る向きを「縦」に
変更したいので
unload 中
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9
load 中に内をのぞいて見る
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どこにも 1 の表示がない
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AlignmentToolは
エラーにはなるものの
見かけ上正常終了
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FocusPoint
Editor を起動

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13
こんどはうまく行かない
配置「縦」
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exposure も試して見る

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NG FOCUS SYSTEM ERR
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Show Latest Result

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17
Show job Results
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Check Layout

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Auto Place を試して見る
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Rectange Selection
の方で
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21
-35000 x -45000
-30000 x -40000
の 5 m/m 角の設定にする
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Auto Place の結果を
別名保存
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WEC Editor から
Focus Point File を変更
しておいて、もう一度 exposure

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NG FOCUS OHD Failed
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Focus Point Editor
を起動したままだったので
Load WEC したら
何か聞かれている
ここは OK を押した(と思う)
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結果を表示
何故か左側 3 m/m くらいが
Size error になっている
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例えば 右側で 16 を選ぶと、
左側でその点が大きくなる
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Auto Place を使って
10 x 10 m/m で作り直して
もう一度 exposure
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やはり左側 3 m/m で
問題が起きる
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Auto Place で作った
25mm 角を使ったら、
やはり同じになる
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