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縮少
2020/09/28 16:46:38
(写真をクリックすると次を表示します)
PM1 PFC 流量上限リミットエラー
が出ていて 、基板の上に茶色のごみ(カプトン・テープと同じ色の、うすい膜のような破片) が載っているので、 chamber を開けて、上をのぞいた時の写真
(マイナスの) ねじが四つ取付けられている。
(チャンバーの)外に一つ置いてあったのは、ここが一つ外れていたと思って いましたが、どうも、そうではなさそうです。
(拡大縮少)