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2020/09/29 12:08:20

(写真をクリックすると次を表示します)

O2 Ashing 30 分 + 手で掃除

自動搬送では、下側にごみが入ってしまって
PM1 PFC 流量上限リミットエラー
が出るので、 PM1 (主チャンバー)を開けて、 掃除機で掃除をしたり、エタノールと bemcot を使って、ふいたりしたが 直らない。
そこで、 以前に使っていた手動で置いて見るとする
チャック付近をきれいにした上で、手動でウェファを置いて、 O2 ashing を 30 分した後に、また上を手できれいにした時の写真

(拡大縮少)