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2020/09/29 15:45:15

更に O2 Ashing 30 分

自動搬送が使えるようになったので、全て自動で O2 Ashing を 30 分した後に上を見た写真
実は、 iPhone のカメラを自分向にして、下に置いたので、下からまっすぐ見上げている。
あたかも、平面に見えるのはそのため

今回のごみ(付着物)は、ぼろぼろと落ちてくるようなもの
O2 Ashing でかなりきれいになる
O2 Ashing 後に手で掃除をすると、これも取れやすい

なので、この付着物は、有機物で、密着に使っているグリース (HVG-50) が怪しい。しかし、これをカプトンテープでおおうようにしても、カプトンテープが焦げてしまうのでは、と思われる。

(マイナスの) ねじが二つに減っている