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2020/10/26 23:48:59

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(上) 膜厚計

THICKNESS MONITOR エイコー・エンジニアリング製 ET101R 膜厚計

実際の厚さと、設定の厚さが違う時には Tooling 機能で校正が可能

(下) EB 制御

3kW EB-EVAPORATOR CONTROL UNIT

右下にある METER READ SW は

上 EMISSION (mA)
下 Fillament 電流 (A)

を切替える。調整はリモコン側で行なう

(EB 側の) リモコンには、

加速電圧 (5kV くらい、強いと奥に、弱いと手前に、ビームが当たる位置が動く)
Sweep (これで当たる位置を前後に動かす、が動いている様子は、あまり分らないしか動かない)
Fillament 電流は 6.5 - 7 mA くらい

を調整出来る