AlignmentMark2-Frame-20.0-2025-05-27-16.09.gds--root Wafer --layno 30 --name D-LAB_makoto_Wafer-pec.bef --pec --pec-dose-use-table-file 1
AlignmentMark2-Frame-20.0-2025-05-27-16.09.gds--root OneUnit20 --layno 0,1 --pec --name D-LAB_makoto_Vernier-pec.bef --pec-dose-use-table-file 1

AlignmentMark2-Frame-20.0-2025-05-27-16.09.gds--layno 2 --root OneUnit20 --pec
AlignmentMark2-Frame-20.0-2025-05-27-16.09.gds--layno 2 --root OneUnit20 --pec --name D-LAB_makoto_Vernier-layer2.bef