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(写真をクリックすると次を表示します) 		Wafer TAB に行きます

Area Pitch の欄に

X: 2000.00 (um)
Y: 3000.00 (um)
と入力して、 BEF を配置する時に、

X 方向には 2 m/m 間隔で
Y 方向には 3 m/m 間隔で

配置することにします

(拡大縮少)