The previous one is X vertical intended to see the profile after conversion. But it failed. And besides, the stripe line runs horizonally (X direction). The stripe width for 20 m/m lense is 600 um.

So, 90 degrees rotated horizontally for now

And this needs inversion (for Positive resist) at Conversion setup

Conversion Algorithm ( by guess)

1. Only on the area shape exist
2. The height is auto-range, say set min and max height (range)
3. scan X, Y direction and measure the height as Z
4. when measuring, either lower surface (lower) or upper surface (upper), the default is lower
5. if inversion is selected, the value = range - height

In case Positive resist, create model as shown above, measure lower surface, select inversion may give the intuitive result.

1. 形のある範囲だけを scan します
2. 高さについては、自動設定です、最低高さから、最高の高さまでを(高さ範囲)とします
3. X, Y 座標について Z を測ります
4. 高さを測る時には、 lower 指定であれば下の面を、 upper 指定であれば上の面を測ります、 既定の設定は lower です
5. もし inversion の yes 設定があれば、測定高さは、(高さ範囲)から測定した高さを引いた値になります (既定値は no です)

なので、positive resist の場合には、上に示したように形を作り、 lower で測り、 inversion 指定 をすると、直感的になる、というのが僕の主張です

// lower version Y vertical
module slope (L, H, W, D, offset) {

translate([0, -D * 2 ,  0])
cube([W, D, H]);

translate([0,  D * 2 + L,  0])
cube([W, D, H]);


polyhedron (
points = [
       [ 0, 0 + offset, H],
       [ W, 0 + offset, H],
       [ W, L + offset, H],
       [ 0, L + offset, H],
  
       [ 0, L + offset, 0],
       [ W, L + offset, 0],
],

faces = [
      [ 0, 1, 2, 3],
      [ 3, 2, 5, 4],
      [ 4, 5, 1, 0],
      [ 0, 3, 4],
      [ 1, 5, 2]
      ]
      );
}
slope (100, 50, 100, 10, 0);

二つの binary と、一つの grayscale を描画しようとしたが、 時間切れ等で binary x 2 のみとなった

• GDSII 形式は
  (https://www.if.t.u-tokyo.ac.jp/~makoto/project/GDSII/LSratio/LSratio-2022-11-22-21.12.gds)
  (https://www.if.t.u-tokyo.ac.jp/~makoto/project/GDSII/nega-posi/nega-posi-2022-11-23-07.31.gds)
  この二つ
• 使った lens は H/R と 4 m/m
• resist: OFPR 800 LB 510 cP

Columns	4	Rows	1
Die Width	2000	Die height	1000

Die index	Designs	Focus (%)	intensity[%]	Filter[%]	LaserPower(mW)	Effective Power (mW)
1	mef_221124_HR_L_Sratio	0	100	12.5	36	4.5
2	mef_221124_HR_L_Sratio	0	100	12.5	40	5
3	mef_221124_nega_posi	0	100	12.5	36	4.5
4	mef_221124_nega_posi	0	100	12.5	40	5

• Regulus8230 SEM images
  (https://www.if.t.u-tokyo.ac.jp/~makoto/p22/20221125r)
• TM-3030Plus photos
  (https://www.if.t.u-tokyo.ac.jp/~makoto/p22/20221125s)
• GDSII as DWL66+ placement
  (https://www.if.t.u-tokyo.ac.jp/~makoto/project/GDSII/20221124.gds)

// upper version 
// VERSION = 2022-11-01 22:06"
module slope (L, H, W, D) {

  translate([ -W/2, -D * 2 , 0])   cube([ W, D, H]);
  translate([ -W/2,  D  + L, 0])   cube([ W, D, H]);

  polyhedron(
      points = [
      	     [ -W/2,  0 , 0],
             [  W/2,  0 , 0],
             [  W/2,  L , H], 
             [ -W/2,  L , H], 
	               
             [ -W/2,  L , 0], 
             [  W/2,  L , 0], 
	     ],
      faces  = [
      	     [ 0, 1, 2, 3],
	     [ 3, 2, 5, 4],
             [ 4, 5, 1, 0],
             [ 0, 3, 4],
             [ 1, 5, 2]
	     ]
	     );
}
 rotate([0, 180, 0])  //  for lower, invert

//      Length   Height     Width Delta
slope (1000,     250,       300, 100);  // 1 x 0.3 m/m for default setup