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Y 座標について考えます
言葉では分り難いかも知れないので、
計算方法を図示します

下の area pitch の枠の中心を 0 とします(基準点)

(写真の)上の Chip Mark の位置:
   (基準点) から area pitch 量だけ上ったところから 3795 下った
   ところ、つまり
   8000 - 3795
(写真の)下の Chip Mark の位置:
   (基準点) から 3795 上ったところ

したがって、その差(距離) は、次のようになるはず
  上の位置    - 下の位置  
(8000 - 3795) -   3795   = 410
これが測定では 402 となっているので、8/420 => 1.9% 小さい 

(写真をクリックすると次を表示します) (拡大縮少)