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縮少

Y 座標について考えます
言葉では分り難いかも知れないので、
計算方法を図示します
下の area pitch の枠の中心を 0 とします(基準点)
(写真の)上の Chip Mark の位置:
(基準点) から area pitch 量だけ上ったところから 3795 下った
ところ、つまり
8000 - 3795
(写真の)下の Chip Mark の位置:
(基準点) から 3795 上ったところ
したがって、その差(距離) は、次のようになるはず
上の位置 - 下の位置
(8000 - 3795) - 3795 = 410
これが測定では 402 となっているので、8/420 => 1.9% 小さい
(写真をクリックすると次を表示します)
(拡大縮少)