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TeamMEMS: 集積化マイクロ・ナノ電子デバイス・システム研究チーム
Overview
(学会誌の表紙を飾った)、垂直プロファイルを制御した、
サブミクロングレーチング構造太陽電池
我々「TeamMEMS」は、東京大学電気系教員と学生で構成する
東京大学武田先端 知ビルスーパークリーンルームの日々の運営
サポーターからなる 研究室横断型の研究チームです。
主な所属は以下の研究室です。
・三田研究室: iSML)
・中野・杉山・種村研究室
また三田准教授は 東京大学大規模集積システム設計教育研究
センター(VDEC)の協力教員 であり、VDECのクリーンルーム
関連運営に深く関わっています。
スーパークリーンルームの様々な装置をフル活用して、電子工学の立場から、電気と機械が融合する
次世代のマイクロ・ナノ素子ならびに、それら を活用したシステムの研究を行なっています。
トピックは幅広く、例えば 以下のような研究を行なっています。
●最新のプラズマ技術を用いた、精密な深掘りマイクロ・ナノマシン加工
●MEMS由来の微細加工技術を活用した新たな半導体素子製造技術
●独自微細加工技術とアイディアによる新機能電子デバイス・システムを提案
●新機能電子デバイスを活用した新たなトップダウン型アプリケーショ ンの開拓
(例えばエネルギー自律型分散システムの研究)
研究成果例
狭くて深掘りの構造 (High Aspect Ratio Nano
Structure: HARNS)の概念をMEMS界に提案
(DTIP 2004, Transducers2005)
サブミクロン開口の深堀トレンチ構造
●シリコンの垂直断面プロファイル制御・計測技術とその応用
(ICMTS 2005, MEMS 2008, MME 2009, ICMTS 2010)
●ありふれた半導体技術にMEMS技術を導入することにより高機能な大 規模集積回路(VLSI)を
生み出す研究(MEMS2007, 2010発表予定)
●エネルギー自立型マイクロ移動ロボット(例えば1cm×1cm×5mm以下のアメンボロボ)を用いた、
自律再構成可能なMEMSセンサネットワー クの研究 (ESSDERC 2008)
MEMS ワイヤレスアメンボロボ
TeamMEMSは国際プレゼンスに貢献します
国際理解と、国際的な土俵でのプレゼンス向上を優先事項として捉えて います。
三田准教授は日本語、フランス語、英語に堪能で(ドイツ語は学 部時代は全優でしたが20年前の話。
少しだけイタリア語。) また彼の妻は フランス語、英語、イタリア語、日本語の四ヵ国語に堪能です。
これら の経験から、日本流とフランス流と、二つの異なる研究手法に通じてい ます。
TeamMEMSのメンバは、自分の研究を査読付き国際学会で発表することをを当然のこととしています。
主要メンバー
三田吉郎, 准教授 (柴田・三田研)
杉山正和, 准教授 (中野・杉山・種村研)
肥後昭男, 助教(中野・杉山・種村研) 2007.4-
久保田雅則, 助教 (中野・杉山・種村研) 2004.4-
澤村智紀, ナノテクネット研究員 (柴田・三田研) 2007.7-
李リンハン(China), 博士課程3年生 (中野・杉山・種村研) 2007.4-
森下賢志, 博士課程1st year (柴田・三田研) 2008.4-
山本広隆, 修士課程2年生 (柴田・三田研) 2009.4-
チャンナムビン(Vietnam), 修士課程1年生 (柴田・三田研) 2009.4-
木原泰樹, 修士課程1年生 (柴田・三田研) 2010.4-
森功, 学部 4年生 (柴田・三田研) 2010.4-
このほか、多数の協力メンバに支えられています。OBのページはこちら。
発表論文
論文のページに掲載（順次）。
受賞
2008.11 金俊亨: 応用物理学会集積化MEMS技術研究会奨励賞
2006.09 廣瀬健一郎 Micromechanics and Microengineering Europe 2006 ベストポスター賞(2年連続)
2005.09 久保田雅則 Micromechanics and Microengineering Europe 2005 ベストポスター賞
2000.03 三田吉郎, 丹羽記念賞
コンタクト
東京都文京区本郷7-3-1 東京大学工学部3号館111
Tel: +81-3-5841-6730
Mail: mems at if.t.u-tokyo.ac.jp
武田先端知ビル: VDECの ページへ