HNS: Fujiwara's Diary

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2021年12月16日(木) 旧暦 [n年日記] [更新:"2004/08/09 23:43:33"]

#1 [Resist] contrast curve


DATE	resist	DOSE step rate	GDSII	ref
2021/08/26	ZEP530A	1.1	contrast-curve-by-layer.gds	(*1)
2021/12/16	ZEP520A-7	1.05	contrast-curve-by-layer-35.gds
2021/12/27	ZEP520A CAN038	1.02	contrast-curve-1-25-100-173-2021-12-25-22.35.gds
2022/01/04	HSQ	1.02	contrast-curve-1-25-100-173-2021-12-25-22.35.gds
2022/01/18	HSQ	1.02	contrast-curve-0.5-2.5-12.9-15.9-2022-01-10-20.22.gds

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#2 ZEP520A-7

＠ GDSII:

＠ spin coat (2 pipets):

 500  3.0  10.0
6000 10.0  60.0

＠ exposure:

 w  1339 20211216 21:50.53    965  1.06  0:16.05 (1 -  31) [49]
          D-LAB_makoto_ZEP520A-contrast-curve
	  Focus_points_file_waf100mm_49point
	  D-LAB_makoto_contrast-curve-by-layer-35.bef

( Post message... )

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以上、1 日分です。

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