CAN038 の spin curve を、 とりあえず、少しだけ調べて見ました。 700 rpm という低速にすれば、一応 300 nm くらいになるらしい ということは分りました。小さなかけらで調べたので、信頼性は、いまひとつ かも知れません。 そういうこともありますし、 この厚さと、膜質で描画がうまく行くかは、確める必要がありますが、 出発点は調べた、ということです。

APM で洗浄してから、 (80 deg x 10 min) 厚さを測るだけだから、と思って OAP は省略しました

5/16 に CAN038 の spin curve を測った。
そのうちの 700 rpm のもの、 が 300 nm 厚のはずなので、 これに exposure した
GDSII 形式

CAN038 300 nm  (PAB 110 x 60 sec)
OAP なし
Si 525 

DOSE 40 50 60
PEB 120 60
Develop NMD-W 60 s
Rinse   DI 15 sec x 2

Dose 40 のものが、パターンが、ところどころ欠如している

module shape ( L, H, W, D) {
polyhedron(
    points = [

      	     [  W/2,  0 , 0], 
      	     [  W/2,  0 , H], 
             [ -W/2,  0 , H],
             [ -W/2,  0 , 0],

      	     [  W/2,  L , 0], 
      	     [  W/2,  L , H], 
             [ -W/2,  L , H],
             [ -W/2,  L , 0],

	     [  W/2 -D ,  0 , H + D],
	     [ -W/2 +D ,  0 , H + D] , 	     
	     [ -W/2 +D ,  L , H + D],
	     [  W/2 -D ,  L , H + D], 	     	     
	     ],

      faces  = [
      	     [ 0, 1,   8, 9, 2, 3],
	     [ 4, 7,   6, 10, 11,5],
	     [ 0,  4, 5, 1],
	     [ 0,  3, 7, 4],
             [ 3,  2, 6, 7],
             [ 8,  11, 10, 9],
	     [ 1,  5, 11,8 ],
	     [ 6,2, 9,10 ],
	     ]
	     );
}

                           shape ( 20, 2,  5, 0.2);
translate( [ 5, 0, 0])  shape ( 20, 2,  5, 0.2);
translate( [ 10 , 0, 0])  shape ( 20, 2,  5, 0.2);

STL model is here: 600um-stripe.stl