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2023年05月23日(火) 旧暦 [n年日記] [更新:"2023/05/24 01:54:42"]#1 [F7000S] CAN038 120-270 exposure
5/16 に
CAN038
の spin curve を測った。
そのうちの 700 rpm のもの、 が 300 nm 厚のはずなので、 これに exposure した GDSII 形式 CAN038 300 nm (PAB 110 x 60 sec) OAP なし Si 525 DOSE 40 50 60 PEB 120 60 Develop NMD-W 60 s Rinse DI 15 sec x 2Dose 40 のものが、パターンが、ところどころ欠如している ( Post message... )
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