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2023年05月23日(火) 旧暦 [n年日記] [更新:"2023/05/24 01:54:42"]

#1 [F7000S] CAN038 120-270 exposure

5/16 に CAN038 の spin curve を測った。
そのうちの 700 rpm のもの、 が 300 nm 厚のはずなので、 これに exposure した
GDSII 形式
CAN038 300 nm  (PAB 110 x 60 sec)
OAP なし
Si 525 
DOSE 40 50 60
PEB 120 60
Develop NMD-W 60 s
Rinse   DI 15 sec x 2
Dose 40 のものが、パターンが、ところどころ欠如している



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