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2023年05月16日(火) 旧暦 [n年日記] [更新:"2023/05/24 01:44:28"]

#1 [resists] CAN038 spin curve

CAN038 の spin curve を、 とりあえず、少しだけ調べて見ました。 700 rpm という低速にすれば、一応 300 nm くらいになるらしい ということは分りました。小さなかけらで調べたので、信頼性は、いまひとつ かも知れません。 そういうこともありますし、 この厚さと、膜質で描画がうまく行くかは、確める必要がありますが、 出発点は調べた、ということです。

APM で洗浄してから、 (80 deg x 10 min) 厚さを測るだけだから、と思って OAP は省略しました







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以上、1 日分です。
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