
(写真をクリックすると次を表示します)
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Stage Control で Goto Photo-2 として、上のマーク位置 (P-2) に移動しています。
実は、この一連の画面は、
一度 OMD (Optical Mark Detection) = 粗調合せをやって
回転を合せてあります。
このため、 Photo-1 と Photo-2 の X 座標はどちらも -1900 になっています。
(X,Y) = (-1900.00, 57755.00)
と表示しています。
左右のマークの(この写真では上下の)間隔は、
57,755
+ 50,775
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108,530
です、中心からの距離で言えば、 その半分の 54,265 (um) になります。
ただし、上に 3,510 um ずれて
54,265 + 3,510 = 57,775
- 54,265 + 3,510 = - 50,775
ということになります。 |