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(写真をクリックすると次を表示します)
Stage Control で Goto Photo-2 として、上のマーク位置 (P-2) に移動しています。

実は、この一連の画面は、 一度 OMD (Optical Mark Detection) = 粗調合せをやって 回転を合せてあります。 このため、 Photo-1 と Photo-2 の X 座標はどちらも -1900 になっています。


(X,Y) = (-1900.00, 57755.00) 

と表示しています。 左右のマークの(この写真では上下の)間隔は、

  57,755

+ 50,775  

--------

 108,530

です、中心からの距離で言えば、 その半分の 54,265 (um) になります。 ただし、上に 3,510 um ずれて

  54,265 + 3,510 =   57,775

- 54,265 + 3,510 = - 50,775

ということになります。
(拡大縮少)