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(写真をクリックすると次を表示します) 		P-2 から近い 3.0 m/m 直径の active area の円の(この図で)一番上に中心を合せました。 (X,Y) = (-6453.0, 4347.0) の表示になっています。 P-2 の座標が -1900 57755 です この active Area の中心は Wafer 中心から考えると、(回転前の座標系で) 

X: 3.5 x 11000 =  38,500

Y: 0.5 x  9500 =   4,750
また、右のマークの中心は (回転前の座標系で) (54265, 0) で、 これと この active Area の中心との距離は 

X: 54265 - 38500 = 15755

Y:          4750
です。 ここから回転後で考えます。 

P2: -1900   57755

差分 -4750  -15755

    -6650   42000
ですが、円の中心から上に 1,500 um なので 

    -6650   43500
のはずで、表示は 

-6453  43547
となっていて、100, 50 um の誤差範囲のはずです。
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