HNS: Fujiwara's Diary

左のような画面から、 resist module を実行して、 3D の表示を選ぶと、右のような画面が出る (画面をクリックすると図を拡大します) これは、以前に作った ZEP530A の感度曲線 (Constrast Curve) を使って simulation をしています。ただ、これは base dose を 100 とした時のもので、かなり少なめになっている時のものです。でも底まで抜けているように見えるので、不思議です。多分僕が何かを間違えている気がします。

＠図:

左から

Resist -> General
2D 表示 (上から見たところ)
3D 表示、 Wire Frame、色を変えてみたて

＠手順:

GDSII を用意して、実行 host に転送しておく
TRACER を使って simulation と Fit をした後に、
- Edit -> Store Store to Archive
- Export 3D Data .. ボタンを使うか
- 2D or 3D を選んでおいて -> Store ボタンを使う
などとして、基板とレジストの 3D Archive を作っておく
LAB を起動する
Import を使って GDSII 形式を読む
もし一部を取出しておいた方が(画面の)操作が速いなどがあるなら
Layout Operation の方の Extract を使って Layer/Structure 等を指定して、扱う GDSII を小さくしておく
今回は、 structure の階層を良く覚えていなかったので、一つ下る毎に Extract を使って 6 x 6 um の四角の範囲まで小さくしておいた
今回は、 Contrast Curve (感度曲線) として DOSE とレジスト厚さの関係を調べてあったので、それを使う。このためには Control -> Calibration Module を使って、 light intensisty というようなデータに変換しておく
E-Beam 3D を選んで、つなぐ
上で、 GDSII を小さくしておいた、と書いたが、更に、その中で、 Layout TAB で一部を選ぶ(方が速い) .. 添付の一番目の図では R1 と名札のついている緑枠の部分
Tool TAB で、

Base Dose 100 などと設定(上の最初の、右側の 3D の図は、その時のもの)
Simulation TAB で、

Grid X/Y[um] 0.002

Grid Z [um] 0.002

などを設定、細かくしすぎると、実行に大変時間がかかる。今回は 6 分くらい
Resist Module をつないで、 preference から、三番目の図のように、 General で Development Rate -> Edit Parameters で Light intensity model を Import する
-＞| のような印を選んで実行、終了したら四角が二つ重なっている印を選ぶと、結果を表示する
(Double click すると、表示 -> 消去なので、消えてしまう。一回だけクリックする)

結果の表示形式にはいくつもあるが、右の図のようなアイコンから選べる

最後の二つは Base Dose 80 の場合の、 Show 1d view と show 3d view の例
アイコンは、左から:


Export the current visible view as png file or as raw data
Show 1d View
Show 2d View
Show 3d View
Show 1d and 2d horizontally arranged
Show 1d and 2d vertically arranged

2021年10月01日(金) 旧暦 [n年日記] [更新:"2022/01/04 03:40:07"]

#1 [EB] LAB trial

#2 手順

＠図:

＠手順:

2021年10月01日(金) 旧暦 [n年日記] [更新:"2022/01/04 03:40:07"]

#1 [EB] LAB trial

#2 手順

＠ 図:

＠ 手順:

＠図:

＠手順: