2021年10月04日(月) 旧暦 [n年日記] [更新:"2021/10/04 10:14:43"]
#1 [SEM] ZEP530A exposure measurement
2021/09/13 に描画をした ZEP530A on 4 inch Si Wafer であるが、きょうも 10:00 - 12:40 くらいの間、観察した。 写真は次のところにある。文字の説明のうち直径については(まだ)正しくないと思う。
このうちの HoleSIPH の方の設定半径と、描画後の 開孔半径を libreoffice で図にして見たLine and Space の方もデータはあるが、まだまとめていない
- ぱっと見たところ、 DOSE によらないように見える
- 直径の 10 % くらい大きくなる、という気がする
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